掃描電鏡和能譜儀的原理與實用分析技術（第2版）
工業和信息化部電子第五研究所
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工業和信息化部電子第五研究所
本書從應用的角度出發，介紹了掃描電鏡和能譜儀的基本原理及其在實際工作中的一些典型應用。全書分爲上、下兩篇和一些相關的附錄。 上篇包括第1~9章，主要論述了掃描電鏡的原理、結構、操作要點和應用中幾種常見的圖像質量問題，以及一些改善圖像質量的應對方法和措施，也列舉了多種電子元器件在電應力和環境應力等作用下的一些典型失效案例。書中還介紹了有關電鏡和能譜儀的維護、保養及安裝場地的選擇等注意事項，以供用戶在規劃和選擇安裝場地時參考。 下篇包括第10~18章，主要介紹了X射線能譜儀的原理、數據採集和處理及具體的應用技術，其中包括Si(Li)與SDD新舊兩種譜儀探測芯片的基本原理，以及能譜儀在定性、定量分析中常遇到的一些棘手問題及應對方法。最後還簡略地介紹了羅蘭圓波譜儀和平行光波譜儀的原理及它們各自的特點。 書中的附錄還收錄了真空壓力單位的換算表，編撰了能譜分析中可能出現易被誤判的假峯等可能的干擾峯，還加入了部份與掃描電鏡和能譜分析等有關的常用顯微分析的標準號。