GB 50467-2008 微電子生產設備安裝工程施工及驗收規範

內容簡介

本規範適用於集成電路、半導體分立器件生產設備安裝工程的施工及驗收。本規範不包括集成電路及半導體分立器件生產設備聯動調試及試生產。

書籍信息