微机电系统及工程应用
莫锦秋 梁庆华 王石刚
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莫锦秋 梁庆华 王石刚
本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。本书的特点是信息量大、系统全面，包含了微机电系统制造过程中微机械加工、微封装、微检测各个环节；微机电系统构成中的各种微传感器、微执行器、微构件、微系统的工作机理；先进的微机电系统设计技术以及计算机辅助技术；多种设计手段和实用软件。本书可供希望了解或采用微机电系统的工程技术人员阅读，也可作为机械工程类学生学习专业选修课的参考书。
看完之后终于修正了我对MEMS的偏见，原来一直以为只有半导体工艺的微机电才算MEMS，才知道其实是MEMS包含了精密加工和半导体两类工艺，核心是有别于传统宏加工。算是一本小白也能读的书，作为MEMS入门书籍还不错。