热丝法合成金刚石膜

内容简介

本书首先对CVD金刚石薄膜的性质及应用进行概述；然后对热丝化学气相法沉积金刚石薄膜的形核、生长过程及规律系统地进行研究分析，并对沉积过程中气相化学进行诊断分析，讨论添加辅助气体对气相活性基团的影响以及对沉积金刚石薄膜质量和生长速率的影响；最后介绍热丝CVD金刚石薄膜涂层钻头以及微米、纳米复合涂层金刚石薄膜模具。本书适合于高等院校的材料、物理、化学等专业的方向课教学用书，亦可作为相关工程领域尤其是CVD金刚石产业的科研与生产指导书。

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