硅基MEMS制造技术
王跃林 等
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王跃林 等
随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用，MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行，但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同，这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基MEMS芯片的批量制造，系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多，为了让不同学科背景的人能够快速读懂本书，本书先对MEMS的来龙去脉及MEMS出现的原因进行了简单介绍，然后详细介绍了相关内容，尽量做到通俗易懂。希望读者通过本书能全面了解硅基MEMS芯片制造技术，为从事与MEMS相关的工作打下基础。
对我很有帮助。适合有一定电子技术基础的人了解 MEMS 技术的入门书籍。
如何利用集成电路平面工艺实现三维微机械结构的大规模批量制造是硅基MEMS芯片制造的关键所在。 mems芯片虽然和集成电路有这近似的历史年份，但是他发展并没有像集成电路那样顺畅，主要是他的应用方面比较专业，每个微机械的功能结构都大不相同，所以很难像集成电路那样光搞晶体管就行。 为了mems芯片发展，首先是要面向市场，其次要以平面工艺的基础上形成产业化，降低成本，走向国产化，打开国内市场。mems还是有发展潜力的。
非常棒的专业书籍，非常非常值得推荐