新型微纳传感器技术
赵玉龙 蒋庄德 著
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赵玉龙 蒋庄德 著
本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构，阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。 本书可供高等院校传感器技术、微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业的师生作为教材使用，也可供从事传感器、MEMS、仪器仪表等相关专业的技术人员学习参考。