刘会聪 冯跃 孙立宁 编著
本书详细介绍了硅基微传感系统和非硅基微传感系统的设计、性能、制备、特征、表征以及测试和应用, 并对微传感系统相关的微纳加工技术做了简要介绍。 本书适宜从事传感系统设计以及机械、材料等相关专业人士参考。
