磁控溅射镁合金表面改性技术及应用
张德秋 李慕勤
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张德秋 李慕勤
本书内容结合了当今国内外对磁控溅射表面改性材料的研究以及发展情况，着重介绍了近年来作者在磁控溅射表面改性材料方面的基础理论知识的学习、实验材料与方法、制备工艺流程、分析检测方法以及相关的国内外先进技术手段的研究。主要内容包括：镁合金表面直流磁控溅射Ti-TiN镀膜研究、镁合金表面高功率磁控溅射Ti（Si）-TiN-Ti（Si）N镀膜研究、直流磁控溅射制备Ta膜及其性能分析、高功率脉冲磁控溅射制备Ta膜及其性能分析、高功率脉冲磁控溅射制备多层膜及性能分析。本书涉及多门学科，可为研究磁控溅射表面改性材料的相关人员提供意见和建议，并且为材料领域的研究与应用提供参考资料。