熱絲法合成金剛石膜

內容簡介

本書首先對CVD金剛石薄膜的性質及應用進行概述；然後對熱絲化學氣相法沉積金剛石薄膜的形核、生長過程及規律系統地進行研究分析，並對沉積過程中氣相化學進行診斷分析，討論添加輔助氣體對氣相活性基團的影響以及對沉積金剛石薄膜質量和生長速率的影響；最後介紹熱絲CVD金剛石薄膜塗層鑽頭以及微米、納米複合塗層金剛石薄膜模具。本書適合於高等院校的材料、物理、化學等專業的方向課教學用書，亦可作爲相關工程領域尤其是CVD金剛石產業的科研與生產指導書。

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