磁控濺射鎂合金表面改性技術及應用
張德秋 李慕勤
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張德秋 李慕勤
本書內容結合了當今國內外對磁控濺射表面改性材料的研究以及發展情況，着重介紹了近年來作者在磁控濺射表面改性材料方面的基礎理論知識的學習、實驗材料與方法、製備工藝流程、分析檢測方法以及相關的國內外先進技術手段的研究。主要內容包括：鎂合金表面直流磁控濺射Ti-TiN鍍膜研究、鎂合金表面高功率磁控濺射Ti（Si）-TiN-Ti（Si）N鍍膜研究、直流磁控濺射製備Ta膜及其性能分析、高功率脈衝磁控濺射製備Ta膜及其性能分析、高功率脈衝磁控濺射製備多層膜及性能分析。本書涉及多門學科，可爲研究磁控濺射表面改性材料的相關人員提供意見和建議，並且爲材料領域的研究與應用提供參考資料。