微機電系統及工程應用
莫錦秋 梁慶華 王石剛
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17.6萬字總字數
¥37.99定價
莫錦秋 梁慶華 王石剛
本書主要從普及的角度介紹了微機電系統及其相關技術的應用。全書共12章，分別對微機電系統的定義、起源及研究現狀、製造技術、系統構成、設計技術進行了深入淺出、通俗易懂的介紹。本書的特點是信息量大、系統全面，包含了微機電系統製造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環節；微機電系統構成中的各種微傳感器、微執行器、微構件、微系統的工作機理；先進的微機電系統設計技術以及計算機輔助技術；多種設計手段和實用軟件。本書可供希望瞭解或採用微機電系統的工程技術人員閱讀，也可作爲機械工程類學生學習專業選修課的參考書。
看完之後終於修正了我對MEMS的偏見，原來一直以爲只有半導體工藝的微機電纔算MEMS，才知道其實是MEMS包含了精密加工和半導體兩類工藝，核心是有別於傳統宏加工。算是一本小白也能讀的書，作爲MEMS入門書籍還不錯。