硅基MEMS製造技術
王躍林 等
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王躍林 等
隨着MEMS技術的不斷成熟和全面走向應用，MEMS芯片的量產問題變得越來越重要。顯然MEMS芯片的量產必須在集成電路生產線上進行，但是MEMS芯片製造與集成電路製造相比有明顯不同，這使得集成電路生產線在轉型製造MEMS芯片時會遇到一些特殊的工藝問題。本書主要圍繞如何利用集成電路平面工藝製造三維微機械結構，進而實現硅基MEMS芯片的批量製造，系統介紹了硅基MEMS芯片製造技術。由於MEMS涉及學科較多，爲了讓不同學科背景的人能夠快速讀懂本書，本書先對MEMS的來龍去脈及MEMS出現的原因進行了簡單介紹，然後詳細介紹了相關內容，儘量做到通俗易懂。希望讀者通過本書能全面瞭解硅基MEMS芯片製造技術，爲從事與MEMS相關的工作打下基礎。
對我很有幫助。適合有一定電子技術基礎的人瞭解 MEMS 技術的入門書籍。
如何利用集成電路平面工藝實現三維微機械結構的大規模批量製造是硅基MEMS芯片製造的關鍵所在。 mems芯片雖然和集成電路有這近似的歷史年份，但是他發展並沒有像集成電路那樣順暢，主要是他的應用方面比較專業，每個微機械的功能結構都大不相同，所以很難像集成電路那樣光搞晶體管就行。 爲了mems芯片發展，首先是要面向市場，其次要以平面工藝的基礎上形成產業化，降低成本，走向國產化，打開國內市場。mems還是有發展潛力的。
非常棒的專業書籍，非常非常值得推薦