新型微納傳感器技術
趙玉龍 蔣莊德 著
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趙玉龍 蔣莊德 著
本書圍繞微納傳感與測試技術的知識架構，闡述微納傳感器的基本原理、優勢特點與應用。本書主要介紹單晶硅壓阻原理、加速度傳感器、壓力傳感器、諧振傳感器、機牀刀具測力和振動傳感器、薄膜測力傳感器、爆轟爆速傳感器、MEMS電熱執行器、氣體傳感器等典型微納傳感器的設計與製造方法。 本書可供高等院校傳感器技術、微機電系統、測控技術與儀器、自動化工程、機電一體化及儀器儀表等專業的師生作爲教材使用，也可供從事傳感器、MEMS、儀器儀表等相關專業的技術人員學習參考。