吳元慶 劉春梅 王洋 編著
芯片是近年來備受關注的高科技產品，在電子、航空航天、機械、船舶、儀表等領域發揮着不可替代的作用。本書圍繞芯片製造技術展開，從單晶硅晶體的拉制講起，介紹了多種硅晶體的沉積和拉制、切割技術，着重介紹了光刻技術和光刻設備，並簡要介紹了集成電路封裝技術。 本書適宜對芯片技術感興趣的讀者參考。
