納米計量基礎與應用
施玉書 陳鷹 等 著
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施玉書 陳鷹 等 著
本書是介紹納米計量的發展現狀、相關技術及其在多個產業中應用的一本技術專著，來源於筆者及所在實驗室同仁們在納米計量領域的研究工作。本書以納米計量爲主線，主要包括技術和應用兩大部分。在技術部分主要介紹了納米計量的基本內容以及涉及的納米檢測技術；在應用部分主要選取納米計量在先進製造產業、生物醫藥產業、微電子與集成電路產業的典型應用進行介紹。本書通過對納米計量的基本內容與應用進行介紹得以傳承計量文化，普及計量知識，使讀者對納米計量這一小衆學科的基礎研究有所瞭解，對我國納米計量體系有系統、準確的認識。 本書重點介紹了我國自主研發的納米計量測量儀器的技術指標（已基本達到了國際先進水平），自主研發的納米幾何特徵參量標準器及標準物質，同時分享了納米計量在先進製造、生物醫藥、微電子與集成電路產業的多個典型應用示範。 本書不僅適合納米計量相關的工程技術人員參考，也供高等學校儀器科學與技術專業及相關專業師生參閱。