劉會聰 馮躍 孫立寧 編著
本書詳細介紹了硅基微傳感系統和非硅基微傳感系統的設計、性能、製備、特徵、表徵以及測試和應用, 並對微傳感系統相關的微納加工技術做了簡要介紹。 本書適宜從事傳感系統設計以及機械、材料等相關專業人士參考。
