微細加工與微納加工技術及應用

內容簡介

微細加工與微納加工技術是當前發展最快的技術之一，已廣泛應用於機械、微電子、材料、機電、化工、能源、航空航天、通信、生物技術、醫療衛生、軍事等領域。本書綜合了近年來機械微加工和微納加工領域的國內外新理論、新技術、新成果。全書分別介紹了微切削加工技術，微細電加工技術，激光的微納米加工技術，面向MEMS與NEMS應用的金剛石CVD技術，納米機械加工原理、方法與實現；還重點介紹了微納米加工光刻技術、沉積法圖形轉移技術、刻蝕法圖形轉移技術、薄膜沉積技術、自組裝納米加工技術、微納米加工技術的應用等內容。 本書內容豐富、語言精練，具有較強的實踐指導意義和實用價值。本書可供機電、微電子、新材料、通信、能源、化工等領域的科研人員、技術人員閱讀或參考，也可作爲相關專業大專師生的教學參考書。

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