單晶硅超精密加工技術仿真
史立秋
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史立秋
單晶硅作爲一種典型的硬脆半導體材料，廣泛應用於微電子領域。超精密加工技術可以實現硅表面的高質量加工，但加工方法需要很高的實驗條件和工作成本。本書以材料力學、超精密加工等學科爲理論基礎，建立單晶硅超精密車削的有限元和分子動力學模型，優化切削參數以及刀具參數，解決傳統研究中只能通過大量實驗來確定最優工藝參數的弊端，降低實驗成本，提高加工效率。本書適合從事超精密加工技術研究的科研工作者、工程技術人員或高校教師、本科生、研究生閱讀，也可以作爲科普讀物，加深讀者對這一領域的瞭解。