微機電系統與設計

內容簡介

全書共8章，第1章初識微機電系統。第2章闡述了用於傳感或執行元件工作的基本機理，並介紹了一些典型的微傳感器和微執行器。第3章討論了用於微機電系統的多種材料。第4章描述了怎樣製造微機電系統和器件。第5章詳細介紹了微機電系統的設計仿真、分級建模和MEMS CAD技術。第6章講述了微機電系統設計和封裝中相關的工程力學問題和尺度效應。第7章和第8章主要介紹微機電系統的封裝和檢測技術等。

書籍信息