納米壓印技術
孫洪文
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孫洪文
本書詳細介紹了納米壓印及相關技術的工藝、原理、仿真、應用和展望。納米壓印技術是在納米尺度獲得複製結構的一種成本低而速度快的方法，它可以大批量重複性地在大面積上製備納米圖案結構，並且所製出的高分辨率圖案具有相當好的均勻性和重複性。不僅可以供從事微電子、微納加工、納米技術的科技人員參考，也由於納米壓印技術應用的廣泛性，亦可作爲廣大從事化學、生物、醫學、光電子、磁學等領域的科研人員開拓研究思路的參考書。本書深入淺出，通俗易懂，亦可作爲科普讀物。